環境負荷低減の取り組み

ウエハー表面にノズルで保護膜用の薬品を塗布する処理では、薬品固化による吐出不良を防ぐために、ノズルを定期的に有機溶剤で洗浄する必要があります。キオクシア株式会社四日市工場では、ノズル洗浄頻度の最適化を行い、一部の工程で洗浄に使用する有機溶剤使用量を40％以上削減しました。
ウエハーの洗浄に関しても薬品の不使用や処理順序の見直しを行っており、水使用量削減や製品品質の安定化に加えて、薬品の回収とリユースを増やすことで、一部の工程で薬品使用量を5割削減しています。

製造装置のメンテナンス活動も、製品品質の維持と環境負荷の軽減を両立するために重要です。
キオクシア株式会社四日市工場の後工程（メモリ製品組立工程）では、長期稼働している装置もあり、メンテナンス活動の効率向上は課題の一つになっています。工場内のリユース工房では、この課題に部品のリユースで取り組んでいます。消耗部品に関しては、装置の稼働に影響しない消耗状態の範囲を2年間かけて見極め、廃棄処分の基準を見直す事で使用期間を従来の約2倍にできました。また、不具合のために装置から取り外された機器・部品は分解し、故障個所および原因を把握したうえで、可能な限りの修理とリユースを行っています。修理履歴からの情報収集や自社製動作チェッカーを用いる検査などで修理・リユースの品質も確保しており、メンテナンス活動の効率向上に寄与しています。2013年の発足以来、同工房ではこれらの施策などによって、約50,000個の部品をリユースしてきました。
前工程（回路形成工程）では、装置にウエハーを固定する静電チャックの表面劣化に着目しました。一定回数使用後の静電チャックは廃棄処分していましたが、2023年からはメンテナンス加工によるリユースを行っています。また、ウエハー上に転写された回路パターンのエッチング処理（ガスとプラズマで複数段階にわたって加工する処理）では、加工段階によって要求される精度が異なります。この処理で使用する電極を、必要な精度に応じて新品とリサイクル品で使い分けて電極の長期使用を可能にすることで、新品の使用を約2割削減しました。

国内グループ製造事業場では、資源の有効活用拡大に努めています。リユースとリサイクルを最優先に、材質や再資源化後の用途別に構内で細分化して回収しています。

前述のノズル洗浄用有機溶剤の場合は、使用済み分の全量回収だけではなく、協力会社での精製工程を追加することで、同じ用途でのリサイクルが可能になりました。この有機溶剤のリサイクル率は85％になります。
前工程でウエハー表面に回路パターンを転写する際、フィルムカメラの露光（撮影）から現像までの仕組みを応用しています。現像後に使用する洗浄溶剤も、国内グループの製造事業場ではすべて回収し、協力会社にて蒸留精製後に、事業場内にて同じ用途でリユースしています。
ウエハーの成膜材料となるポリイミドは、使用後に廃棄していました。キオクシア株式会社四日市工場では組成変更にともなう有価物化の再評価を実施し、リユースを行っています。回収後は蒸留精製され、主に塗料の原料となっています。
Solid State Storage Technology Corporation（以下SSSTC）では原料の包材であるアルミラミネート袋からリサイクルアルミニウムを生成する取り組みを行い、2024年2月から3か月間で153㎏のアルミラミネート袋をリサイクルしました。

国内製造事業場では、年間2,000t以上のプラスチック製品廃棄物が発生しています。リサイクル加工会社と連携して、これらの廃棄物はプラスチック製品の原料などへリサイクルされています。リサイクル処理や運搬の効率向上のため、分別回収の徹底に加えて、可能な範囲でのプラスチック製品廃棄物の減容処理も行っています。発泡スチロール（PS）の場合、高温での溶融による減容で体積を95％以上削減しています。
これらの取り組みによって、国内製造事業場から発生するプラスチック製品廃棄物の再資源化率は2018年から90％以上を継続しています。
また、SSSTCでも2023年からすべてのメモリ製品輸送トレーなどのリユースを開始しており、全廃棄物におけるリサイクル率を5割以上改善できました。

キオクシアグループでは、環境に配慮した包装の使用を拡大しています。
製品に使用されるメモリチップやウエハーは、当社グループと協力会社や原材料メーカーの間を搬送して製造・加工されます。繊細なメモリチップやウエハーの品質を維持するために、輸送に耐えられる強度と内部の清浄性の両方を確保できるプラスチック製ケースが使われています。国内グループでは、このケースを使用後に検品してリユースしています。
個人のお客様向けSSDで使用している内トレーでは、一部製品に紙製トレーを採用しています。2023年発売のEXCERIA PLUS G3 NVMe™では、板紙製トレーを採用しました。従来のプラスチックトレーから紙製トレーへの置き換えで、包装材におけるプラスチック使用量を90％以上削減しています*¹。また、パルプモールド製（EXCERIA PLUS Portable SSD）や段ボール製（EXCERIA with Heatsink）のトレーも採用しています。
また、キオクシア株式会社四日市工場で使用している印刷付き段ボールのうち、95％以上に植物由来成分を含有したインク*²を使用しており、インク由来のCO₂を印刷面積当たり約2％削減しています。